DMD
DMD光刻镜头；
支持I线（365nm）LED照明1um分辨率；
双侧远心设计，确保焦深范围内的放大倍率；物方工作距离长，可兼容斜入射照明方式；
适用于光刻工艺系统；
| 产品型号 | 倍率 | 像方（NA） | 物方视场（mm） | 畸变 | 场曲 | 设计波长 | 中心波长 | 文件预览 ( pdf ) |
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| XF-DMD7.56X4K DMD光刻镜头 | 7.56X | 0.25 | 26 | 绝对畸变<0.2um | 设计场曲<3um | 357-376nm | 365nm | 探索 |
| 产品型号 | 倍率 | 像方（NA） | 物方视场（mm） | 畸变 | 场曲 | 设计波长 | 中心波长 | 文件预览 ( pdf ) |
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